汇芯通信申请晶圆分割方法及装置专利，实现分割后断口平整、材料损失小

         2025年7月17日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“晶圆分割方法以及装置”的专利，公开号CN120319729A，申请日期为2025年04月。

          专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆分割方法以及装置，涉及半导体分割技术领域。本申请通过高频振动的点针头沿指定轨迹多次敲击晶圆表面，形成连贯且细小的裂缝，从而实现分割后断口平整、材料损失小的效果。在敲击完成之后，通过弯折组件调整角度完成分离，避免了额外崩裂，显著提升了晶圆分割的精度、平整性和效率，同时降低了热损伤和材料浪费。

         天眼查资料显示，深圳市汇芯通信技术有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本20333万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市汇芯通信技术有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目420次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息188条，此外企业还拥有行政许可23个。